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FS 系列
外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 ,能显著降低颗粒的产生。液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸,不需定期收紧螺栓,减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此,即使连接各种控制器,亦可以轻易控制吐出量
规格
流量范围:0~100 L/min
出口压力:0.5 MPa
耗气量:0~670 NL/min
冲程率:240 spm
主要材质:PTFE, PFA
液体输送温度范围:5 ~ 180 °C
应用:
适用于半导体、太阳能、LED、面板业、光电业、
电子业等供酸系统与制程系统的广泛应用,
适合中流量制程,高纯度化学品的输送。
高密度 PE 车制而成,组成无任何金属零件;
可分离式气阀设计,
可依空间需求调整,气密佳、低耗气量;
低压稳定不卡机。